“行了,先休息一会吧!”看他还要说话,陆见连忙说:“我现在就开始做实验,你不用担心,电路图已经画好了,我检查过,没有问题。”
听到他的话蓝明达就放心了,安心坐了下来。
陆见回到自己位置上,在单晶硅片上滴上光刻胶,又用旋涂技术将其涂均匀,让晶圆表面形成一层光刻薄膜。之后利用光学透镜将掩膜桑的电路投射到晶圆上,这里使用的光线是紫外线。
陆见手很稳,电路图被完美地投在了晶圆上面。
之后将光刻过的晶圆放入显影液中,再之后就是冲洗,放入腐蚀液中,经过冲洗之后填充二氧化硅用于绝缘
这套工艺步骤很多,也很复杂,不过陆见还是很顺利地进行了下去,等到陆见将所有步骤做完的时候已经非常晚了,中途简明远和徐言他们轮流帮忙,等到陆见将各元器件连接完成的时候已经是凌晨四点多了。
陆见揉揉疲乏的眼睛,这个光学透镜倍率还是不行,如果能再高些的话他们能生成的晶体管更多,要知道未来工艺达到一定水平片之后,一块晶圆上可以分割出成千上万个芯片,可惜现在一切都是梦了。
陆见看了实验室里面的人,大都已经趴在桌子上睡着了,一直说要陪着他等结果的简明远还有蓝明达他们也都撑着手迷糊着。因为芯片制作的最后一个步骤是连接个元器件,要将金属铜填充到各晶体管之间作为连接线,工艺多且复杂,需要不断重复很多层,整个过程差不多就几百个步骤,他们都已经撑不住了。
陆见将芯片放在盒子里,站起来伸了个懒腰,无声地打了几个哈欠,并没有叫醒他们的意思,现在都四点多了,还是让他们休息一吧,没多久就天亮了。
心里这么想着陆见拿起装芯片的盒子,脚步轻轻地回到了自己的办公室,之后拿起水杯喝了一口水,也准备趴一会,还好现在已经五月了,天气已经快三十度了,也不用担心他们着凉。
心里这么想着他就闭上眼睛趴着睡了起来,脑子实在是太累了,还没等他睡着门就被突然被从外面打开了。
“陆工,你在这啊?”
脚步声到了陆见桌子边上,陆见没办法只能勉强睁开眼睛太起来,进来的是蓝明达,门外面还站着简明远、赵磊和徐言,应该是突然醒过来发现他没在。
“芯片已经做好了,在这。”知道他们在想什么,陆见直接将桌子抽屉里面装着芯片的盒子拿了出来。
蓝明达迫不及待地接了过来,打开看了起来,还一边问:“你做完多久了呀?没有什么问题吧?怎么不喊我们呢?现在直接可以做测试了。”
门外的徐言他们也都跑了进来,围着蓝明达看了起来。
陆见无奈地说:“四点刚弄完,才趴在桌子上准备休息一会你们就进来
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